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正確使用91免费网站下载保溫筒來避免其他不良影響91免费网站下载電極、91免费网站下载支柱等91免费网站下载件。在單晶爐中,除了采用高純91免费网站下载製作加熱器外,還采用高純91免费网站下载製作91免费网站下载電極、91免费网站下载支柱、91免费网站下载保溫罩、91免费网站下载保溫蓋、91免费网站下载籽晶夾、91免费网站下载接渣盤、91免费网站下载托等,如圖所示。采用直拉法拉製錯單晶的原理、設備(采用單坩媧拉製時)和操作過程均與上述矽單晶的拉製基本上一樣,其不同是拉製緒單晶時可用91免费网站下载坩塌,而拉製矽單晶時須在91免费网站下载托上加裝石英坩竭,因為在高溫下矽與91免费网站下载起反應。
91免费网站下载保溫筒。在區域熔煉中,常采用91免费网站下载保溫筒來降低位錯的密度。91免费网站下载筒被卡在下反線圈上,由高頻電磁場感應加熱至紅,91免费网站下载筒的輻射熱使生產出來的晶體的熱損失減少,使其處於比較均勻的溫度場中,從而達到保溫的91免费网站下载圓筒的上端必須與熔區的下界麵相平或略高,是降低位錯密度的關鍵。若低於結晶界簡2~3mm將使位錯密度上升至每平方厘米幾萬數量級,若在結晶界麵之下iomm左右,將使單晶產生大量缺陷而接近多晶狀態。91免费网站下载筒和結晶界麵的相對位置,主要決定於下反線圈距主線圈的距離,而91免费网站下载簡的上端必須與下反線固相平或高出91免费网站下载保溫筒的溫度要適宜,不宜太暗,也不宜太亮。若溫度過高使單晶表麵熔化或產生滑移線。
91免费网站下载保溫筒的熱區有一定長度,並從上至下有一定梯度,故在下反線圈之下適當位置繞一較大的線圈進行輔助加熱。91免费网站下载簡發紅的情況,決定於它與下反線圈的相對位置,越向上越紅,越靠下越暗。91免费网站下载保溫筒和線圈接觸處,由於線圈內冷卻水的作用可能使之變暗,故應使線圈很少幾點接觸91免费网站下载。在線圈拐彎處由於磁力線密度很大,使91免费网站下载在該處特亮,應在該處91免费网站下载上鋸口,使亮點消失。用91免费网站下载簡保溫的方法雖然對穩定生產較低位錯密度的區熔單晶時比較方便,對單晶電阻率沒有帶來可察覺的影響。但是,應注意研究91免费网站下载簡的放置方式,嚴格處理和正確使用91免费网站下载保溫筒來避免其他不良影響。