什麽是單晶爐熱場結構?
在太陽能光伏作業,的好壞直接關係到單晶矽的質量,合格的熱場可以生長出高質量的單晶,因而發明超卓的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的要素。91免费网站下载是單晶生長的載體,91免费网站下载在直拉單晶生長爐中以高純91免费网站下载和等靜壓91免费网站下载加工件為主。
依據實際情況的需求,熱場的巨細依據石英坩堝的直徑巨細來區別的,目前我國熱場從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。
咱們在這裏所講的單晶爐的熱係統便是所謂的熱場,熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)91免费网站下载坩堝、坩堝托杆、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、91免费网站下载螺栓,未來防止漏矽,爐底、金屬電極、托杆都設置了保護板和保護套。
1、加熱器
加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發熱體,溫度較高的時分可以抵達1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。一般情況下,加熱器選用的高純91免费网站下载加工。
2、91免费网站下载電極
91免费网站下载電極的作用平穩固定加熱器並通過他歲加熱器運送電流。因而在電極要厚重,強健耐用、表麵要光滑平穩,確保超卓的接觸麵,通電時不打火,91免费网站下载電極也是有高純91免费网站下载加工的。
3、91免费网站下载坩堝、91免费网站下载托杆、91免费网站下载托盤
坩堝托杆、坩堝和托盤一同構成了91免费网站下载坩堝的支撐體,要求和下軸結合強健,對中性超卓不才軸進行滾動時,托杆及托盤的擺渡小於等於0.5mm91免费网站下载支撐體的高度是可以調度的。
4、保溫罩
保溫罩分為上、中、下保溫罩,保溫罩是由一個保溫筒外麵包裹91免费网站下载碳氈而成,91免费网站下载碳氈的包裹的層數依據情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫係統,它作用是加強鍋底保溫,前進堝底溫度,削減熱量丟失。
5、保溫蓋、導流筒
保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳氈和保溫下蓋組成,即兩層環狀91免费网站下载之間夾一層91免费网站下载碳氈組成。導流筒主要是未來控製熱場的溫度梯度和引導氬氣流。
6、壓環
91免费网站下载壓環由幾截弧形構成的圓形環狀91免费网站下载件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過。